研发国内首套超精密主动减振器

本报讯（记者 程墨 通讯员 高翔）7月10日，华中科技大学与武汉格蓝若智能技术股份有限公司签署成果转化合作协议，由后者出资8000万元，对华中科技大学陈学东院士团队超精密主动减振技术进行产业转化。

据悉，陈学东院士团队“二十年磨一剑”，创新性地研发了准零刚度、频变阻尼、协同控制等超精密主动减振核心技术，突破了降频率与保承载、减共振与抑高频、减振动与稳位姿三大技术矛盾，解决了高性能主动减振关键核心技术难题。

超精密主动减振器是高端制造装备、精密仪器设备的核心功能部件，是保证这些装备高精度超稳定运行的关键。产品应用于半导体高端制造设备、高精密机械加工车床等领域。该产品不仅可以高效隔离外部振动，还通过实时采集振动信息，基于先进的控制策略生成多维振动控制信号，精准抑制各种内外部扰动导致的台体振动，实现被减振部件接近“绝对静止”的状态。

中国超精密主动减振技术长期落后于国外企业，格蓝若和陈学东院士团队一举突破了超精密主动减振器关键技术壁垒，实现国产自主可控。基于前期合作研发成果，格蓝若推出超精密型、抗冲击型、适用真空型等20余款超精密主动减振器。

《中国教育报》2024年07月12日第3版