河海大学仿生机器人团队助力半导体产业升级

中国教育报-中国教育新闻网讯（记者 阿妮尔）近日，河海大学苏州研究院仿生机器人技术团队与企业紧密合作，研发“真空环境超洁净晶圆传送机械臂”，并在半导体制造领域实现重要应用，突破了我国半导体设备制造的“卡脖子”问题。

真空环境超洁净晶圆传送机械臂被称为半导体晶圆生产线的“神经中枢”，广泛应用于光刻机、刻蚀机等关键设备，其性能直接决定芯片制造的精度与效率。然而，该类设备长期被日美企业垄断，且被列入禁运产品目录，严重影响产业链安全。“半导体产业要突破，关键设备的‘自主可控’是必由之路。”河海大学教授、团队负责人徐林森介绍说，“成果研发过程采用产学研结合方式开展，以企业为主体，我们研究团队与北京航空航天大学等优势单位联合，发挥各方优势开展关键技术攻关。”

机械系统采用集成化驱动与磁流体密封技术，解决了真空环境下的洁净度控制难题；基于国产操作系统构建的实时控制系统，实现纳秒级响应精度；创新研发的误差补偿算法，将机械臂重复定位精度控制在±0.05mm，水平方向振动降至0.2g，各项指标均达到国际先进水平……目前，历经多轮技术迭代，该成果已实现多项关键突破。

“这项技术的产业化不仅提升了企业的研发与管理水平，更推动集成电路装备与机器人、智能制造技术的深度融合。”徐林森说，该成果将加速集成电路装备国产化进程，助力培育产业创新新生态，为我国集成电路产业链自主创新能力提升提供核心支撑。

目前，该机械臂已成功导入多家行业标杆企业，在薄膜沉积、刻蚀等关键制程中稳定运行，设备工艺适配性获客户高度认可，累计实现销售收入约1300万元。未来，团队将聚焦5G通信、人工智能芯片等高端应用领域，提供定制化传输解决方案。同时，依托在晶圆传送机械臂领域的技术积累，创新性开展设备翻新与升级服务，打造“设备销售+增值服务”的双轮驱动模式。