深圳技术大学半导体微纳加工中心落成

中国教育报-中国教育新闻网讯（通讯员 汤悦 记者 刘盾）近日，深圳技术大学半导体微纳加工中心与测试平台正式落成。作为深圳市首个聚焦化合物半导体光电子领域的公共服务平台，该平台的投用，填补了深圳在“光载信息”和“智能传感”半导体芯片领域的空白。该平台将为粤港澳大湾区半导体产业高质量发展提供重要支撑，筑牢深技大应用研究型人才培养根基。

据介绍，中心建筑面积2600平方米，其中千级、百级及万级洁净区面积达2100平方米。作为深圳市首个同时支撑化合物光电芯片与MEMS传感芯片上游制造的公共服务平台，中心配置120余台套先进教学与研发工艺设备，构建起覆盖光刻、刻蚀、薄膜沉积、切磨抛及测试表征等关键环节的全流程工艺体系，可提供“设计—加工—封装—测试”一站式技术解决方案。

在人才培养方面，中心以“科研牵引、产业协同、人才培养”为使命，精准对接深技大应用研究型人才培养需求，致力于打造国际先进、国内领先的产学研协同创新高地。依托深技大集成电路与光电芯片学院，中心组建了由50多名高层次科研人员构成的核心团队，已构建起从基础研究到工艺实现、从中试到产业化的完整创新链条。中心将深度融合科研与教学，助力构建实践型人才培养体系，为产业输送高素质专业人才，实现教学、科研、产业三大目标的精准对接。

深技大党委书记陈秋明表示，半导体微纳加工中心与测试平台将以专业化、高水平的半导体加工与测试服务为抓手，加速推动半导体与集成电路领域研究成果的工程化突破、产业化应用、市场化推广，为深圳市半导体产业和坪山区“中国芯”支柱产业高质量发展提供坚实支撑。